星空体育app下载华卓精科申请刚度阻尼装置及光刻设备专利保证工作状态下结构动态稳定性

发布时间：2024-10-28 丨 浏览次数：

　　金融界2024年10月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“刚度阻尼装置及具有其的光刻设备”的专利，公开号CN 118818905 A，申请日期为2023年4月。

　　专利摘要显示，本发明提供了一种刚度阻尼装置及具有其的光刻设备，涉及光刻设备技术领域，为解决平面光栅和光栅安装板在工作状态下的结构动态稳定性易受到干扰的问题而设计。包括沿Z向设置的第一安装结构和第二安装结构，第一安装结构固定连接活塞，第二安装结构开设容纳腔，容纳腔设置粘性流体，活塞伸入容纳腔；第一安装结构为可变形结构，第一安装结构能够产生绕X向的变形、绕Y向的变形和绕Z向的变形；第一安装结构通过补偿组件与第二安装结构连接，补偿组件允许第一安装结构与第二安装结构产生沿Z向的相对位移以及绕X向星空体育app下载、绕Y向和绕Z向的转动自由度，补偿组件环绕并密封容纳腔。本发明保证了平面光栅和光栅安装板在工作状态下的结构动态稳定性。XK星空体育